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SYO-3020CNC 变焦显微镜

設備特點:

1. 手動量測系統XY采用精密無牙螺桿傳動,減少齒輪傳動偏移誤差

2. 線性馬達/伺服馬達用於自動化量測傳動系統,能實現高精度測量

3. 系統采用被動式or主動式減震系統,能克服環境震動問題,可解決高倍率解析時的震動問題

4. 系統使用進口變焦鏡頭,實現高解析顯微觀察與測量

5.系統使用人體工學設計理念設計,符合友好化測量

 

設備應用

1. 設備主要應用在FPD顯微結構尺寸量測;

2. 設備還可以用於與半導體行業的尺寸量測;